スパッタリング装置
高温・活性ガスに耐えうる磁性流体シールを提供します
太陽電池・タッチパネル・フラットパネルディスプレイの製造に必要な透明導電膜・反射防止膜を形成するスパッタリング装置に、リガクの磁性流体シールは多数の実績を持っています。
対向ターゲット法、イオンビーム法、マグネトロン法、ECR法、反応性スパッタリングなど、さまざまな方式のスパッタリング装置に対応可能です。
マグネットを使用する磁性流体シールでは避けられないと思われていた漏洩磁束ですが、リガクの磁性流体シールは独自の構造によりほとんど漏洩磁場がありません。
ケースより10mm離れた位置では地磁気程度のため、プラズマイオンや電子への影響を気にすることなく安心してご使用いただけます。
スパッタリング装置に適した磁性流体シール
金属汚染を避けるため、真空側にベアリングを配置しないカンチレバーFMB-Cシリーズ、カンチレバーF1B-Cシリーズをお勧めします。
また、中空シャフトタイプの磁性流体シールでは、回転軸に電極や冷却機構などを通すことができます。カンチレバーF1T-Cシリーズをお勧めします。
選定の際には使用温度範囲や、荷重などにご注意下さい。
特殊仕様をご希望の場合は、磁気シールお引き合いフォームからご連絡ください。