事例・実績

リガクの磁性流体シールは様々なアプリケーションへ使用されています。

半導体・FPD向け

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  真空ロボット

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  CVD装置

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  スパッタリング装置

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  イオン注入装置

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  単結晶引き上げ装置

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  真空チャック

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  エッチング装置

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  エピタキシャル成長装置

その他の用途向け

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  ロールtoロール成膜装置

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  X線発生装置

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  撹拌装置

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  ガス導入機

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  アーク放電

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  真空炉・加圧炉