サンプルの吸着に最適

• ウェーハや液晶ガラスの搬送時、またはスピンコーターなどの瞬間での高速回転時などに、サンプルに傷を付けることなくしっかりとした吸着が可能です。
• 磁気シールを通じて真空引きを行うことにより無駄なスペースを無くし装置全体のコンパクト化にもつながるメリットに加え、安定した回転性能を発揮できる為、真空チャック用の磁気シールの需要は徐々に増えつつあります。