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カスタムメイドモデルご紹介

多軸シール

半導体ウェーハや液晶基板などの搬送用真空ロボットアームに使用。
高温タイプの磁性流体を使用する事で、耐熱温度は120℃まで可能です。

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ベローズ付き

磁気シール本来の目的である回転機構にベローズを取り付けることにより、アキシャル方向への直進運動を可能にしました。
特に真空ロボットに要求されるロボットアーム先端部のフレ精度を最小限に抑えることに役立てるよう、元軸であるシールの軸フレ精度をギリギリまで抑えた高精度ベローズ付き磁気シールの製造に成功しました。

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防じんシール

真空シールや加圧シールのように圧力差を保持するのではなく、主にコンタミを防止する目的で使用されるシール。
クリーン環境で使用されるロボットのアーム部分からの発塵やHDDヘッドの保護のために用いられています。

高圧型

ポールピースの段数を増やすことでより大きな差圧に耐えられる構造としたシール。
実機としては1MPaまでの実績があります。

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パージ機構付

活性ガスや真空チャンバー内で発生した粉塵などは磁気シールの寿命に影響を与えるため,磁気シール内部にN2パージを行い、活性ガスや粉塵が内部に侵入し難くしたもの。
N2ガスもしくはAirをパージすることで磁気シール内部に液体が侵入するのを防止しています。

片持型

磁気シールの真空側のベアリングを大気側へ移すことにより真空炉内をよりクリーンな環境にすることを可能にしました。

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真空チャック

軸中心に空いた穴から排気し、対象物をチャッキングして回転させるもの。主な対象物はシリコンウェーハや、液晶基板などでスピンコーター、表面検査、搬送などに用いられています。

ダイレクトドライブタイプ

ACサーボモータがついたコンパクトサイズ磁気シールユニットです。

  • 通常の磁気シールユニットは回転の供給には別途モータを接続する必要がありました。この為モータのスペースが別に必要であったり、伝達精度により角度制御などに不利な点がありましたが、モータを磁気シールに組み込むことによって全体的にコンパクトになり、伝達損失などの問題も解消されています。

F1-Mタイプ(ビルトイン方式)

  • 磁気シールユニットの内部にロータ、ステータを組み込み、磁気シールを直接駆動できる機構のモデル。

F1-Tタイプ(ビルトイン方式)


型式モータ出力軸径
RMS-F1-M-20-W 200W φ20 0.6N・m
RMS-F1-T4601-8-W 30W φ8 0.07N・m
RMS-F1-T4603-8-W 100W φ8 0.3N・m
RMS-F1-T4609-14-W 400W φ14 1.1N・m
RMS-F1-T4614-19-W 750W φ19 2.2N・m

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超高真空対応

磁気シールRMSシリーズを使用した超高真空システム例

超高真空領域における回転導入機として、リガク独自の構造システム(特許第3006780号)による磁気シールユニットを完成しました。 中間排気ポートからの排気により、磁性流体のベース液によるオイルミストおよび微小気泡の真空側への浸入を確実に阻止し、真空領域の雰囲気汚染を効果的に防止できます。またオリフィスを用いた、いわゆる差動排気効果により、チャンバー内を超高真空に保持します。この状態で高トルクの回転力を伝達することができます。


  • オリフィス効果と差動排気の使用により、ベース液の高真空側へのミスト浸入を阻止し、超高真空(~10-8Pa)を実現
  • 高トルクの回転力の導入が可能
  • 高速回転が可能
仕様
到達圧力 ~10-8Pa
温度範囲 0~80℃
回転数 100~700rpm
排気システム 差動排気方式
圧力測定結果

カタログ内に記載されている性質上の数値は、理学メカトロニクス株式会社によるテスト結果であり、他の環境下で常に同様の結果となることを保証するものではありません。カタログ中に記載されている社名、製品名は各社の商標および登録商標です。製品改良に伴いやむを得ず仕様・外観などを変更させていただく場合があります。ご了承ください。

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