事例・実績
X線発生装置
X線を利用して物質の結晶構造などを調べる技術に貢献しています
X線発生装置では、高真空中で高速回転するターゲットに熱電子を衝突させることによりX線を発生させています。
この装置にもリガクの磁気シールは使用されています。
その他の事例・実績
ロールtoロール成膜装置 / 真空ロボット / CVD装置 / スパッタリング装置 / イオン注入装置 / 単結晶引き上げ装置 / 真空チャック / 真空炉・加圧炉 / エッチング装置 / 撹拌装置 / ガス導入機 / アーク放電 / エピタキシャル成長装置




