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事例・実績

エッチング装置

あらゆる仕様に対応する磁気シールを目指して

活性ガス、高温用、高速回転、プラズマ、電極、イオンビーム、強磁場、漏洩磁束などエッチング装置で使用されるさまざまなスペックと加工方法。
従来の磁気シールでは不可能とされていた、そんな全ての領域をクリアできる日をめざしてリガクの磁気シールは新しいチャレンジを続けています。



その他の事例・実績

ロールtoロール成膜装置 / 真空ロボット / CVD装置 / スパッタリング装置 / イオン注入装置 / 単結晶引き上げ装置 / 真空チャック / 真空炉・加圧炉 / X線発生装置 / 撹拌装置 / ガス導入機 / アーク放電 / エピタキシャル成長装置

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