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事例・実績

ロールtoロール成膜装置

ディスプレイ・照明・太陽電池など、フレキシブルデバイス製造に

ロールtoロール(ロール・ツー・ロール)成膜とは、ロール状のフィルム基板を真空中で巻き出し、スパッタ・蒸着・CVDなどの手法で連続的に成膜を行い、再びロール状に巻き取る方式の成膜方法です。
ロールtoロール方式による成膜は、ディスプレイや太陽電池をはじめとするフレキシブルデバイスの量産化に向けて、重要な製造技術の1つとして位置づけられています。
磁気シールは、Oリングやメカニカルシールのように磨耗による発塵がないため、成膜面を汚染する心配がなく、ロールtoロール成膜装置に最適です。
プロセスの高スループット化、高品質化、低コスト化などの課題解決に磁気シールをご採用ください。

ロールtoロール成膜装置に適した磁気シール

回転軸に非磁性材のものや長尺など特殊形状のものを使用することができる、中空シャフトタイプの磁気シールが適しています。
標準的な構造のスタンダードF1T-Bシリーズ、真空側にベアリングを配置しないカンチレバーF1T-Cシリーズの中からお選びいただけます。

F1T-B F1T-C


まずは、使用条件をご連絡ください。最適な磁気シールをご紹介します。



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