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事例・実績

CVD装置

高温・活性ガスに耐えうる磁気シールを提供します

弊社は古くより大手CVD装置メーカーに数多くの磁気シールを正式にご採用いただき提供しております。
それらの経験から長時間の研究とテストを重ねた結果、高温中でもほとんどアウトガスの出ない新磁性流体の開発に成功しました。 この新磁性流体と磁気シールの構造改良により、CVD装置用として従来不可能とされていた仕様条件での長寿命化に成功した磁気シールユニットをご提供いたします。

また、精密な加工と、熟練の組立によりムラのないスムーズな回転の磁気シールを安定して提供しており、生成膜厚の均一化に貢献しています。



CVD装置に適した磁気シール

CVD装置では腐食性ガスをご使用いただくことが多いためプロセス側にベアリングがないカンチレバーFMB-CカンチレバーF1B-CカンチレバーF1T-Cをお勧めいたします。
また、プロセスによっては部品材料まで検討いたしますのでぜひ弊社までご相談下さい。

FMT-B F1T-B F1T-C

選定の際には使用温度範囲や、使用ガスなどにご注意下さい。
ご希望の形状や荷重条件等をこちらより弊社へ連絡頂ければ弊社営業より回答いたします。

代表的なCVD装置向け磁気シール

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