リガクのテクノロジーが真空の夢をかなえます 磁性流体を使用した磁気シールの製造・販売

磁性流体シールとは

Point1 クリーンPoint2 高真空Point3 長寿命

磁性流体シールは半導体製造装置、FPD製造装置、太陽電池製造装置など先端産業に使用される回転シールです。磁性流体により非接触にシールされた磁性流体シールはオイルシールなど接触シールと比較して「クリーン」「高真空」「長寿命」を特徴としています。

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