リガクのテクノロジーが真空の夢をかなえます 磁性流体を使用した磁気シールの製造・販売

VACUUM2010 - 真空展へ出展いたします。詳細はこちら。
弊社ブース番号：東4ホール　1-10

磁性流体シールとは

Point1 クリーンPoint2 高真空Point3 長寿命

磁性流体シールは半導体製造装置、ＦＰＤ製造装置、太陽電池製造装置など先端産業に使用される回転シールです。磁性流体により非接触にシールされた磁性流体シールはオイルシールなど接触シールと比較して「クリーン」「高真空」「長寿命」を特徴としています。

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製品情報

リガクが製造している磁性流体シールを『磁気シール』と呼んでいます。『磁気シール』は他社の磁性流体シールと比べて多くの利点があります。

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リガク磁気シール

規格品共通仕様 / リガク磁気シールの呼称の説明/
フランジタイプの説明


規格品カタログ

ミニチュアF1B-B / ミニチュアF2B-B / ミニチュアBSB-B /
ミニチュアLSB-B / ミニチュアFMB-B / スタンダードF1B-B /
スタンダードFMB-B / スタンダードF2B-B / スタンダードKMB-B /
カンチレバーF1B-C / カンチレバーFMB-C / カンチレバーCMB-C
スタンダードF1T-B / カンチレバーF1T-C


カスタムメイドモデル

多軸シール / ベローズ付き / 防じんシール / 高圧型 /
パージ機構付 / 片持型 / 真空チャック / ダイレクトドライブ /
超高真空対応


よくあるご質問 Q&A